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废气工程：由于半导体工艺对操作室清洁度要求---，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，天津实验室净化工程---，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

空压气体工程：螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。

芯材有以下几种：a． 硬质聚氨酯泡沫：可壁内发泡，隔热---良。加入卤化有机磷化合物可作阻燃剂，由于混合方法不同分为：可燃级、阻燃级、难燃级。b． 石棉碳酸钙：以轻质碳酸钙为主要原料，与无机纤维和耐火强化剂混合使之发泡，以少量聚树脂作为粘合剂成型，防火性能好，天津实验室净化工程，属于准不燃型板。c． 夹聚板：通过胶与加压，把保温用的聚板夹在两块钢板之间，燃烧时会产生---性气体。防火要求高的场所不宜大量使用。