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废气工程：由于半导体工艺对操作室清洁度要求---，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。

空压气体工程：螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。

排风口设计标准：在排风口要装有空气过滤器，还有就是送风口上装过滤静压箱，这样就可以实现室内进气保持洁净，且更换过滤器也方便；室内送、排风的时候基本采用上送下排的形式，排风口要设在室内可能被污染的区域，采用单侧布置，设置的时候不得有任何障碍，这样就---了风源的洁净。窗帘要求：在设计的时候，天津净化车间装修效果图，传递窗可为全不锈钢材质制备，采用机械联锁控制装置，其内部要有灭菌设备。